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分子束外延(MBE)是当今世界最重要的Ⅲ-Ⅴ族和Ⅱ-Ⅵ族半导体晶体外延生长工艺之一。 它是在适当的衬底与合适的条件下,沿衬底材料晶轴方向逐层生长薄膜的方法。
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