MOCVD加热器

MOCVD技术是以Ⅲ族、Ⅱ族元素的有机化合物和V、Ⅵ族元素的氢化物等作为晶体生长源材料，以热分解反应方式在衬底上进行气相外延，生长各种Ⅲ-V族、Ⅱ-Ⅵ族化合物半导体以及它们的多元固溶体的薄层单晶材料的一种技术。

MOCVD设备是MOCVD技术的核心，其中MOCVD加热器是加热系统中最主要的部分。加热器中的反射板必须具有高温下不易变形、纯度高，高温下不会释放气体杂质等特点，PBN是反射板最为理想的材料，目前博宇PBN绝缘板已经在知名品牌加热器上得到很好应用。

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